Kompakt mikropositioner för open och closed-loop drift med 8, 18 eller 30 mm justeringsväg
Mikropositioner MS30 med 8, 18 respektive 30 mm justeringsväg för open eller closed-loop tillämpningar.
Tillgänglig i följande versioner: Standard, högvakuum upp till 10^-6 eller ultrahögvakuum upp till 10^-9 mbar.
Vikt (open loop): 32 g, 38 g eller 54 g
Stegstorlek open loop (med CF30-controller): ca 10 nm
Upprepningsnoggrannhet closed loop: upp till 50 nm