Ims5420-th Wafer Tjockleksmätarsystem - Interferometrar (vitt ljus)

IMS5420 är en högpresterande vitljusinterferometer för icke-kontakt tjockleksmätning av monokristallina kiselplattor. Kontrollenheten har en bredbands superluminescent diod (SLED) med ett våglängdsområde på 1 100 nm. Detta möjliggör tjockleksmätning av odopade, dopade och högt dopade SI-plattor med endast ett mätssystem. IMS5420 uppnår en signalkonstans på mindre än 1 nm. Tjockleken kan mätas på ett avstånd av 24 mm.