Anpassad Entegries PAK wafer rengöringskassett FLOUROWARE

Waferbärare används för att lagra, överföra, transportera och skydda wafers - Det finns många typer av waferbärare, och varje har sin egen tillämpning. Till exempel kan den framöppna waferöverföringslådan FOUP användas i halvledarprocessen i tillverkningsanläggningen, den framöppna wafertransportlådan FOSB kan användas för transport mellan tillverkningsanläggningar, och waferblomkorgen kan användas för waferrengöring, etc. Fluorhartser har en extremt stabil molekylär struktur, så den påverkas knappt av ljus, temperatur och kemikalier, och är "hartsernas kung" som omkullkastar det inneboende konceptet. I processen för rengöring av chip krävs högrenade kemikalier, och fluoropolymerer är de enda materialen som kan innehålla och transportera de högrenade kemikalier som används i tillverkningsprocessen, vilket uppnår den extremt höga stabilitet och renhet som krävs för halvledartillverkning.