Avsättnings- och etsverktyg - Plasmateknologi - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Kassett-till-kassett produktionsverktyg PlasmaPro 100 Cobra klustrad med 7-vägs robotarm 200 mm och multiwafer batchprocessmoduler och verktygsplattformar som erbjuder utmärkt enhetlighet och hög genomströmning för en rad tillämpningar, antingen som fristående eller kluster-system. Plattformar kan klustras för att kombinera teknologier och processer med antingen kassett- eller enskild wafer-laddningsalternativ. Hexagonala eller fyrkantiga överföringskammarkonfigurationer finns tillgängliga. ** Klicka för att begära pris **