AURION bietet speziell auf die Kundenanforderungen zugeschnittene Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen an.
Darunter finden sich kleine Laboranlagen mit einzelnen Rundkathoden, Batchanlagen mit Rechteckkathoden sowie Durchlaufanlagen.
AURION erbjuder skräddarsydda fler-kammarsystem med substrattransport under vakuum, anpassade efter dina krav.
De tillgängliga konfigurationerna inkl...
Kompletta system för behandling och beläggning av ytor med hjälp av plasmaprocesser
Aktivering, rengöring och ättande med atmosfäriskt tryckplasma, r...
Kompakta system, minimal fotavtryck - Höga plasmadensiteter för korta processtider - Optimerad homogenitet genom plasma-array med 2-dimensionellt gasi...
AURION erbjuder flerkammarsystem anpassade efter dina krav med substrathantering under vakuum.
De tillgängliga konfigurationerna inkluderar lastlådor...
Strålhantverk i partikelacceleratorer (t.ex. buntkompression), helt integrerade system bestående av kaviteter med, strålrör och HF-förstärkare. Strålr...
Max. 4 gasflödesregulatorer med en flödeshastighet på upp till 500 sccm per regulator, nätanslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolym: 30 l, dimension...
KIVOS är ett mycket flexibelt, modulärt koncept för plasmasystem.
Dessa system kan användas inom en mängd olika tillämpningsområden, såsom finrengöri...
Vakuumbehållare i antingen aluminium eller rostfritt stål, vakuumpumpar i korrosionsbeständig gasutförande inklusive oljedimseparator med oljeåterföri...
AURION erbjuder skräddarsydda fler-kammarsystem med substrattransport under vakuum, anpassade efter dina krav.
De tillgängliga konfigurationerna inkl...
Kompletta system för behandling och beläggning av ytor med hjälp av plasmaprocesser
Aktivering, rengöring och ättande med atmosfäriskt tryckplasma, r...
Kompakta system, minimal fotavtryck - Höga plasmadensiteter för korta processtider - Optimerad homogenitet genom plasma-array med 2-dimensionellt gasi...
AURION erbjuder flerkammarsystem anpassade efter dina krav med substrathantering under vakuum.
De tillgängliga konfigurationerna inkluderar lastlådor...
Strålhantverk i partikelacceleratorer (t.ex. buntkompression), helt integrerade system bestående av kaviteter med, strålrör och HF-förstärkare. Strålr...
Max. 4 gasflödesregulatorer med en flödeshastighet på upp till 500 sccm per regulator, nätanslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolym: 30 l, dimension...
KIVOS är ett mycket flexibelt, modulärt koncept för plasmasystem.
Dessa system kan användas inom en mängd olika tillämpningsområden, såsom finrengöri...
Vakuumbehållare i antingen aluminium eller rostfritt stål, vakuumpumpar i korrosionsbeständig gasutförande inklusive oljedimseparator med oljeåterföri...