RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIERIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE

RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE

Vakuumbehållare i antingen aluminium eller rostfritt stål, vakuumpumpar i korrosionsbeständig gasutförande inklusive oljedimseparator med oljeåterföring, upp till 4 massflödesregulatorer för gasförsörjning Anpassad gasinlopp för optimal fördelning Tryckmätning beroende på krav med kapacitiv mätstång eller resistansmanometer (Pirani) Koppling av HF-effekt via AURION:s egenutvecklade och byggda impedansanpassningsnätverk med automatisk justering Effektfördelning (vid flera katoder) DC-bias-reglering för samma bias-potential på flera katoder Valfri halvautomatisk eller PC-styrning inklusive receptförvaltning och datalogging
Liknande produkter
1/8
HF-system för partikelacceleratorer (ACCELOS-SERIE)
HF-system för partikelacceleratorer (ACCELOS-SERIE)
Strålhantverk i partikelacceleratorer (t.ex. buntkompression), helt integrerade system bestående av kaviteter med, strålrör och HF-förstärkare. Strålr...
DE-63500 Seligenstadt
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 gasflödesregulatorer med en flödeshastighet på upp till 500 sccm per regulator, nätanslutning: 3/N/PE AC 400/230V, kammervolym: 30 l, dimension...
DE-63500 Seligenstadt
KIVOS-konceptet: Plasmasystem
KIVOS-konceptet: Plasmasystem
KIVOS är ett mycket flexibelt, modulärt koncept för plasmasystem. Dessa system kan användas inom en mängd olika tillämpningsområden, såsom finrengöri...
DE-63500 Seligenstadt
Inline-system
Inline-system
AURION erbjuder skräddarsydda fler-kammarsystem med substrattransport under vakuum, anpassade efter dina krav. De tillgängliga konfigurationerna inkl...
DE-63500 Seligenstadt
Plasmaskystem
Plasmaskystem
Kompletta system för behandling och beläggning av ytor med hjälp av plasmaprocesser Aktivering, rengöring och ättande med atmosfäriskt tryckplasma, r...
DE-63500 Seligenstadt
Sputtersystem (Sputtering)
Sputtersystem (Sputtering)
DE-63500 Seligenstadt
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakta system, minimal fotavtryck - Höga plasmadensiteter för korta processtider - Optimerad homogenitet genom plasma-array med 2-dimensionellt gasi...
DE-63500 Seligenstadt
Klustersystem
Klustersystem
AURION erbjuder flerkammarsystem anpassade efter dina krav med substrathantering under vakuum. De tillgängliga konfigurationerna inkluderar lastlådor...
DE-63500 Seligenstadt

europages-appen är här!

Använd vår förbättrade leverantörsökning eller skapa dina förfrågningar på språng med den nya europages-appen för köpare.

Ladda ner i App Store

App StoreGoogle Play