RIE-PRINCIP: CYLOS 160/RIE

Vakuumbehållare i antingen aluminium eller rostfritt stål, vakuumpumpar i korrosionsbeständig gasutförande inklusive oljedimseparator med oljeåterföring, upp till 4 massflödesregulatorer för gasförsörjning Anpassad gasinlopp för optimal fördelning Tryckmätning beroende på krav med kapacitiv mätstång eller resistansmanometer (Pirani) Koppling av HF-effekt via AURION:s egenutvecklade och byggda impedansanpassningsnätverk med automatisk justering Effektfördelning (vid flera katoder) DC-bias-reglering för samma bias-potential på flera katoder Valfri halvautomatisk eller PC-styrning inklusive receptförvaltning och datalogging