Tunnfilmsavlagring - Cygnus 2

Den bästa mätprecisionen för OLED-applikationer Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller erbjuder exceptionellt värde genom att kombinera den beprövade prestandan hos INFICON tunna filmkontroller med unika funktioner, allt utformat för att du ska få ut det mesta av din OLED-process. Cygnus 2 använder vårt ModeLock frekvensmätningssystem för att ge stabil, högupplöst hastighets- och tjockleksmätning med en branschledande hastighetsupplösning på .00433 Å/s varje 1/10 sekund. Ingen annan kvarts kristallkontroller har prestanda, kvalitet och funktioner som Cygnus 2, vilket gör att du kan göra excellens repetitiv. 1 Å för 0 till 9.999 kÅ 10 Å för 10.00 till 99.99 kÅ 100 Å för 100.0 till 999.9 kÅ 1 kÅ för 1000 till 9999 kÅ 0.001 för 0 till 9.999 Å/s 0.01 för 0 till 99.99 Å/s 0.1 för 100 till 999.9 Å/s 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Verktyg/täthet = 100/1, grundfrekvens = 6 MHz (2) Varierar beroende på process; siffrorna återspeglar typisk noggrannhet (3) Maximal konfiguration av... Frekvensupplösning: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Tjockleks- och hastighetsupplösning/mätning (1): ±0.00433 Å Mätningsfrekvensområde: 6.0 till 4.5 MHz (fast) Tjockleksnoggrannhet (2): 0.5% Mätningsintervall: 0.10 s Flera mätningar med medelvärde: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 och 30.0 sek. medelvärde tillåtet Flera sensormätningar: ja (upp till 6 sensorer) Auto Z: ja Co-deposition: ja (upp till 6 sensorer) Materialprogram: 6 oberoende material USB-minne: ja Dataregistrering: ja Dual w/CrystalTwo®: 6 (med en CrystalTwo Switch per sensoringång) Antal källor (4): upp till 6 Källkontrollspänningar: 0 till +/-10 V, justerbar Utgångsupplösning: 15 bitar över hela området (0 till 10V) Kruspositioner: 64 Ingångar: 14 standard, upp till 28 valfria; TTL/CMOS logik kompatibel eller stängning till jord Utgångar: 8 standard, upp till 24 valfria programmerbara SPST-reläer med en nominell spänning på 30 V(dc) eller 30 V(ac) RMS eller 42 V peak Registreringsutgång (4): 0 till +10 V, justerbar Logiska uttalanden: 100 helt programmerbara; upp till 5 åtgärder, 5 händelser per uttalande Standard: RS232 Valfritt: Ethernet Tjockleksupplösning: 1 Å för 0 till 9.999 kÅ 10 Å för 10.00 till 99.99 kÅ 100 Å för 100.0 till 999.9 kÅ 1 kÅ för 1000 till 9999 k Hastighetsupplösning: 0.001 för 0 till 9.999 Å/s 0.01 för 0 till 99.99 Å/s 0.1 för 100 till 999.9 Å/s Strömkrav: 100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Driftstemperatur: 0 till 50 C (32 till 122 F) Dimensioner, exklusive fästen (h x b x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Vikt: 13 lbs (5.9 kg)