Restgasanalyzatorer (RGA) och Masspektrometrar

Självförsörjande vagn för mobil felsökning INFICON Mobile Cart gör det möjligt för Transpector CPM (Compact Process Monitor) att bli ett mobilt felsökningsinstrument. Den självförsörjande vagnen gör att systemet kan transporteras från verktyg till verktyg med flexibilitet att justera till olika verktygshöjder. Den mekaniska armens mekanism tillåter provtagningssystemet att vrida, rotera och röra sig vertikalt, vilket gör denna Mobile Cart perfekt för trånga produktionsutrymmen.