RGA-serie
System för analys av innehållet i en behållare eller derivat av en process
- Massområde: 50, 100, 200, 300 eller 510 amu
- Minsta detekterbara koncentration (HALO): 2 x 10-13 mbar
- Minsta detekterbara koncentration (3F): 2 x 10-14 mbar
- Minsta detekterbara koncentration (3F-PIC): 2 x 10-15 mbar
- Ionkälla: utbud av källor genom elektronpåverkan tillgänglig
- Fullständig kontroll av ionkällan: ja
- Elektronemission: justerbar via programvara mellan 1 µA och 2 mA
- Elektronenergi: justerbar via programvara mellan 0 V och 150 eV
- Ioner energi: justerbar via programvara mellan 0 V och 10 eV
- Detektor: Faradaydetektor och elektronmultiplikator
- Fläns (HALO): fläns DN-35-CF (2.75"/70 mm)
- Fläns (3F ? trippelfilter): fläns DN-63-CF (4.5"/114 mm)
Användningsområde:
Analys av gaser och ångor i processer och vakuumkammare.
Alternativ för massområde: 50, 100, 200, 300 eller 510 amu: Kontroll av MASsoft via RS232, USB eller flera system via Ethernet LAN
Detektoralternativen erbjuder känslighet från högvakuum till ultrahögvakuum, UHV: Snabb åtkomst till histogram, trendanalys och visning av analoga toppar
Stabilitet (mindre än ±0.5% variation i höjd över 24 h): Skanning i blandat läge, t.ex. trendanalys, histogram och analoga toppar