Membranbaserade enheter
Denna teknikplattform möjliggör strukturering av tunna membran baserade på kiselplattor eller SOI-plattor, även genom waferbonding-metoder. Membranen kan bestå av olika tunna skikt eller skiktstackar. Etablerade materialsystem inkluderar t.ex. membranmaterial som Si, SiO2, Si3N4, AlN och grafen samt elektrodmaterial som Al, Au, Pt och metallglas.
Efter montering frigörs membranen genom utspädnings- och ättningsprocesser med hjälp av selektiv ätningsteknik.
Teknikplattformen är baserad på en 6"-waferstorlek och utvecklas kontinuerligt. Aktuella exempel på enheter är CMUT och PMUT för tillämpningar inom icke-destruktiv övervakning/analys av material, avståndsmätning, objektdetektering, nivåmätning samt endoskopisk och akustisk och fotoakustisk avbildning. Andra tillämpningar av dessa teknologier inkluderar t.ex. trycksensorer samt optiska filter och slutare.