Tunnfilmsavlagring - IC6

GÖR EXCELLENS ÅTERKOMMANDE Funktionsrik IC6 Ger Den Bästa Mätprecisionen Möjlig IC6 Thin Film Deposition Controller erbjuder exceptionellt värde genom att kombinera den beprövade prestandan hos INFICON tunna filmkontroller med unika funktioner, allt designat för att du ska få ut det mesta av din deponeringsprocess. IC6 använder vårt ModeLock frekvensmätningssystem för att ge stabil, högupplöst hastighets- och tjockleksmätning med en branschledande hastighetsupplösning på 0.00433 Å/s var 1/10 sekund. Ingen annan kvarts kristallkontroller har prestanda, kvalitet och funktioner som IC6, vilket gör att du kan göra excellens återkommande. 1 Å för 0 till 9.999 kÅ 10 Å för 10.00 till 99.99 kÅ 100 Å för 100.0 till 999.9 kÅ 1 kÅ för 1000 till 9999 kÅ 0.001 för 0 till 9.999 Å/s om hastighetsfiltertidsinställningen är 10 sekunder eller mer 0.01 för 0 till 99.99 Å/s 0.1 för 100 till 999.9 Å/s 100 – 230 V (växelström) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz (1) Verktyg/täthet = 100/1, grundfrekvens = 6 MHz (2)... Frekvensupplösning: ±0.0035 Hz @ 6 MHz Tjockleks- och hastighetsupplösning/mätning (1): ±0.00433 Å Mätningsfrekvensområde: 6.0 till 4.5 MHz (fast) Tjockleksnoggrannhet (2): 0.5% Mätningsintervall: 0.10 s Flera mätningar med medelvärde: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0 och 30.0 sek. medelvärde tillåtet Auto Z: ja Autotone: ja Co-deposition: ja (upp till 6 källor) Materialprogram: 32 Processlager (per process): 200 Processer: 50 (processer kan kopplas samman) USB-minne: ja Dataregistrering: ja Dual / CrystalTwo®: 4 / 8 (med CrystalTwo® Switch) Antal källor (4): upp till 6 Källkontrollspänningar: 0 till +/-10 V, justerbar Utgångsupplösning: 15 bitar över hela området (0 till 10V) Kruspositioner: 64 Ingångar: 14 standard, upp till 28 valfria; TTL/CMOS logik kompatibel eller stängning till jord Utgångar: 8 standard, upp till 24 valfria programmerbara SPST-reläer med en märkspänning på 30 V(dc) eller 30 V(ac) RMS eller 42 V topp Registreringsutgång (4): 0 till +10 V, justerbar Logiska uttalanden: 100 fullt programmerbara; upp till 5 åtgärder, 5 händelser per uttalande Standard: RS232 Valfritt: Ethernet Tjockleksupplösning: 1 Å för 0 till 9.999 kÅ 10 Å för 10.00 till 99.99 kÅ 100 Å för 100.0 till 999.9 kÅ 1 kÅ för 1000 till 9999 k Hastighetsupplösning: 0.001 för 0 till 9.999 Å/s om hastighetsfiltertidsinställningen är 10 sekunder eller mer 0.01 för 0 till 99.99 Å/ Effektkrav: 100 – 230 V (växelström) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz Driftstemperatur: 0 till 50 C (32 till 122 F) Dimensioner, exklusive fästen (h x b x d): 5.25" x 19" x 13" (133mm x 483mm x 330 mm) Vikt: 23 lbs (10.5 kg)