SIGA GMBH

SIGA utvecklar och bygger skräddarsydda system för mätning, reglering och styrning av gasflöden samt för förångning och dosering av flytande Precursor, kompletterat med Precursor försörjningssystem. Med våra gassystem kan du dosera en gas eller flera gaser eller Precursor och leda dem till en eller flera användningspunkter. Systemen kompletteras av en datorstyrd kontroll med hård- och mjukvara. Utformningen sker enligt dina önskemål baserat på vår erfarenhet. Vi erbjuder bland annat Precursor förångningssystem & försörjningssystem, brännarsystem, aktivkolfilter-konditioneringssystem. Användning av massflödesregulatorer MFCs, ventiler, filter, trycksensorer, temperaturgivare, etc. Användningsområdet är överallt där gaser används i tillverkningsprocesser, t.ex. för avskiljning av tunna skikt CVD. Certifikat DIN EN ISO 9001 System från SIGA •Precursor förångare ◦Förångare för en Precursor ◦Förångare för 2 eller fler Precursor ◦Flytande dosering med efterföljande förångning •Precursor försörjningssystem •Gasmischsystem •Reinstgassystem •AKF-laddningsstationer •Brännarsystem