LeviWafer-Gripper

Med LeviWafer-Gripper transportsystemet är det möjligt att lyfta och transportera känsliga wafers kontaktlöst. I kombination med transporten är (av)lastning av staplar och kassetter också möjlig. Griparen använder ultraljudslagerteknik för att hålla wafer på avstånd, vilket möjliggör kontaktlös transport. Förutom att undvika mikroripor och mikrosprickor, förhindras kontaminering av partiklar eftersom ingen luftturbulens skapas utan tryckluft. Därför är griparen också mycket lämplig för rena rum. LeviWafer-Gripper kan utformas med en eller två paddlar. Funktioner hos LeviWafer-Gripper: - Kontaktlös upptagning - Inga mikroripor, mikrosprickor eller partiklar - Lämplig för standardkassetter - Låg energiförbrukning - Anpassningsbar enligt kundspecifikationer