Restgasanalysatorer (RGA) och Masspektrometrar - MPH100F

LÅS UPP DIN PROCESS Oöverträffad prestanda för ökad avkastning och maximal drifttid Det ständigt ökande priset på kiselplattor och efterfrågan på färdiga produkter innebär att skrotade plattor kostar mer än någonsin. Därför har förståelsen för din process och övervakning av defekter blivit en mycket högre prioritet i halvledartillverkningsanläggningar. Transpector MPH Gasanalysystem är utformat för att låsa upp din process med branschledande prestanda för alla dina gasanalysapplikationer för att maximera chipavkastningen och minimera verktygsdrifttid. Tillsammans med en låg total ägandekostnad och hög medeltid mellan fel, hjälper Transpector MPH din ekonomi mer än någon annan residualgasanalysator (RGA) på marknaden. INFICON har utnyttjat sin expertis inom gasanalys och processkontrollutrustning för att skapa en RGA med branschledande datainsamlingshastighet, minsta detekterbara partialtryck och signal-till-brusförhållande. Allt detta, utan att kompromissa med... Sensorlängd: 14,3 cm Massområde: 100 amu Detektortyp: FC Känslighet (FC): 6E-4 A/Torr Känslighet (EM): NA Min. detekterbart partialtryck (4): 3E-13 Torr Max. sensor driftstemperatur (FC): 200°C Max. sensor driftstemperatur (EM): NA Filamenttyp alternativ (1): Y2O3/Ir Filamenttyp alternativ (2): Tungsten Max. datatakt per punkt: 1,8 ms Max. drifttryck: 5E-4 Torr Max. bakningstemperatur: 300 Strömförsörjning: 20-30 VDC