Restgasanalysatorer (RGA) och Masspektrometrar

ÖVERVAKA OCH KONTROLLERA SNABBA PROCESSFÖRÄNDRINGAR Den nya Transpector XPR 3+ Restgasanalysatorn (RGA) erbjuder branschledande mätningar för att övervaka och kontrollera de snabba processförändringar som krävs för modern tillverkning av halvledare och skärmar. Transpector XPR 3+ är idealisk för in-situ luftläckage, gasrenhet, kolväten och kontaminationsövervakning. Mätningar i realtid med Transpector XPR 3+ ger en betydligt bättre produkt skydd jämfört med periodiska hastighetsökningstester. DRIVA LÖNSAMHET GENOM ATT MAXIMERA VERKTYGSPRESTATION Transpector XPR 3+ RGA är en fältbeprövad fyrdubbel och dubbel jonkälla sensor för applikationer inom sputtertrycksområdet. Ingen tryckkonverteringsutrustning krävs, långlivade komponenter och förmågan att snabbt upptäcka och diagnostisera problem kombineras för att maximera verktygstillgänglighet, produktgenomströmning och avkastning. Sensorn kan drivas kontinuerligt från hög vakuum till 20 mTorr, utan behov av pumpar. Transpector XPR 3+ dubbel jon...